Thailand Techshow

กล้องจุลทรรศน์ฉายภาพในระบบโฟโตลิโทกราฟีแบบไม่ใช้มาส์กแสงโดยอาศัยอุปกรณ์กระจกดิจิทัลระดับไมโครสำหรับสร้างลวดลายบนวัสดุ

นักวิจัย

รศ.ดร.สื่อจิตต์ เพ็ชร์ประสาน
นางสาวชญาณิศา สุขเกษม
ดร.พิชญ์สิณี สุวรรณแพทย์
อาจารย์ประจำวิทยาลัยวิศวกรรมชีวการแพทย์ มหาวิทยาลัยรังสิต
นักศึกษาวิทยาลัยวิศวกรรมชีวการแพทย์ มหาวิทยาลัยรังสิต
อาจารย์ประจำวิทยาลัยวิศวกรรมชีวการแพทย์ มหาวิทยาลัยรังสิต

สถานภาพสิทธิบัตร

สิทธิบัตร เลขที่ 1801007483

ที่มา ข้อมูลเบื้องต้น ความสำคัญของปัญหา

ในอุตสาหกรรมการผลิตอุปกรณ์เครื่องใช้ไฟฟ้าและวงจรอิเล็กทรอนิกส์ต่างๆ เช่น แผงวงจรรวม ไอซีหรือทรานซิสเตอร์ รวมไปถึงลวดลายบนไมโครชิปในเซนเซอร์และไบโอเซนเซอร์ อาศัยกระบวนการผลิตที่เรียกว่า โฟโตลิโทกราฟี (Photolithography) เป็นกระบวนการพิมพ์รูปแบบหรือสร้างลวดลายวงจรที่ต้องการลงบนแผ่นรองรับเพื่อให้เกิดลวดลายต่างๆ โดยการใช้แสงในช่วงความยาวคลื่นแสงอัลตราไวโอเลตบนวัสดุแผ่นรองรับ กระบวนการดังกล่าว จะมีลักษณะเหมือนการแกะสลักลงบนผิวของวัสดุรองรับที่เป็นของแข็ง โดยทั่วไปในอุตสาหกรรมการผลิตแผ่นวงจร วัสดุแผ่นรองรับที่มักจะถูกนำมาสร้างลวดลายผลิตจากแผ่นโลหะกึ่งตัวนำบางจะใช้ ซิลิกอนที่นำไปผ่านกระบวนการตัดขวางให้เป็นแผ่นบางเคลือบด้วยออกไซด์เพื่อให้พื้นผิวของโลหะกึ่งตัวนำมีคุณสมบัติเป็นฉนวนไฟฟ้า แล้วนำมาเคลือบด้วยสารไวแสงซึ่งสามารถทำปฏิกิริยากับแสงในช่วงความยาวคลื่นรังสีอัลตราไวโอเลต ส่งผลให้สารไวแสงเกิดการเปลี่ยนแปลงของพันธะเคมีและการเรียงตัวโมเลกุล สารไวแสงนั้น แบ่งเป็น 2 ชนิด ได้แก่ สารไวแสงชนิดบวก (Positive photoresist) และสารไวแสงชนิดลบ (Negative photoresist)

สรุปและจุดเด่นเทคโนโลยี

ผู้ประดิษฐ์ออกแบบกล้องจุลทรรศน์สำหรับการฉายภาพในระบบโฟโตลิโทกราฟีแบบไม่ใช้มาส์กแสงโดยอาศัยอุปกรณ์กระจกดิจิตัลระดับไมโครเพื่อสร้างลวดลายบนวัสดุรองรับ และเพื่อเป็นอุปกรณ์ฉายภาพแทนการใช้มาส์กที่ต้องผลิตใหม่เมื่อออกแบบลวดลายใหม่ และช่วยลดต้นทุนการผลิตส่วนของมาส์กในอุตสาหกรรม ในระบบประกอบด้วย ส่วนควบคุมการฉายภาพที่ได้จากอุปกรณ์กระจกดิจิตัลระดับไมโครไปยังวัสดุแผ่นรองรับอาศัยการจัดเรียงระบบเชิงแสงแบบกล้องจุลทรรศน์แบบโคเลอร์ฉายแสงขนานลงไปบนอุปกรณ์กระจกดิจิตัลระดับไมโคร ในการจัดเรียงเชิงแสงแบบโคเลอร์ ใช้หลอดแสงจันทร์ (Mercury Lamp) ที่ให้ความยาวคลื่นของแสงในช่วงรังสีอัลตราไวโอเลตและช่วงรังสีที่ตาสามารถมองเห็น ให้แสงที่มีกำลังแสงสูง ซึ่งเมื่อแสงจากแหล่งกำเนิดผ่านระบบฉายแสงแบบโคเลอร์จะทำให้เป็นแสงขนาน และใช้ไดอะแฟรมในการปรับขนาดหน้าแสงให้มีขนาดเหมาะสมไปตกกระทบยังอุปกรณ์กระจกดิจิตัลระดับไมโคร ที่มีลักษณะเป็นกระจกทำหน้าที่เป็นหน้าจอขนาดเล็ก หรือ พิกเซล ขนาด 5 – 10 ไมโครเมตร โดยแต่ละพิกเซลสามารถเลือกปรับมุมได้ จึงใช้ในการควบคุมและเลือกช่วงของความยาวคลื่นของแสงที่ต้องการฉายไปยังวัสดุรองรับ

ความร่วมมือที่เสาะหา

เสาะหาผู้รับอนุญาตใช้สิทธิ

สถานภาพของผลงานวิจัย

ได้ต้นแบบในระดับห้องปฏิบัติการ

เงื่อนไข

เทคโนโลยีต่อรองราคา

สนใจสอบถามข้อมูล

รศ.ดร.สื่อจิตต์ เพ็ชร์ประสาน

โทรศัพท์

0-2997-2200-30 ต่อ 1428, 1486, 1452, 1506

โทรศัพท์มือถือ

0927905791

suejit.p@rsu.ac.th

วิทยาลัยวิศวกรรมชีวการแพทย์ มหาวิทยาลัยรังสิต

คุณต้องการขอรับถ่ายทอดเทคโนโลยี "กล้องจุลทรรศน์ฉายภาพในระบบโฟโตลิโทกราฟีแบบไม่ใช้มาส์กแสงโดยอาศัยอุปกรณ์กระจกดิจิทัลระดับไมโครสำหรับสร้างลวดลายบนวัสดุ"